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TEM - MA-tek 閎康科技

Q5. TEM 針對晶格方向分析其選區繞射(SAD) 最小可圈選範圍是多大? A. SAD最小圈選範圍是200nm，故當待測膜層厚度或晶粒尺寸大於200nm即可用SAD分析；若小於200nm則改用 ...

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