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Omega® Synapse™ | SPTS

介电层蚀刻Omega® Synapse™ 蚀刻工艺模块使用高密度等离子体源，旨在对强力粘合的材料进行蚀刻。Synapse™的优势高MTBC - 工艺腔可加热至约130ºC，从而减少副产品沉积量 ...

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