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浅槽隔离- 特卫网

浅槽隔离(Shallow Trench Isolation；STI)技术制作主动区域之间的绝缘结构 ... STI沟的深宽比大约在2:1~5:1，由于DRAM器件对漏电流的敏感，需要更高的 ...

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