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淺溝槽隔離shallow trench isolation sti技術與製作流程 - 軟體兄弟

本研究探討場發射金屬氧化半導電晶體（MOSFET）淺溝槽隔離絕緣層（Shallow Trench ... Area)之间的隔离槽已大多采用了浅沟槽隔离（STI， Shallow Trenchlsolation)技术 ...

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