... LOCOS)所產生的鳥嘴效應(Bird's Beak)問題,在STI技術中已獲得改善,此方法已為大多數晶圓廠所採用,STI製程有3個主要步驟分別是: (1)溝槽蝕刻,(如圖7.1所示):首先將 ...
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