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半導體製程技術 - 聯合大學

晶圓表面平坦化可以容許高解析度的微影技術製程 ... 減少在薄膜沉積、微影技術以及蝕刻製程中所發生的. 製程問題. ... 矽覆蓋絕緣技術(SOI)和淺溝槽絕緣技術STI.

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