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工學院半導體材料與製程設備學程碩士論文

件製程技術要求也更加精確，在小線寬及高積極度的要求下，元件間干. 擾越來越明顯，被用來作為元件之間絕緣的淺溝槽隔離製程(Shallow. Trench Isolation, STI)也就變得 ...

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