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淺溝槽隔離shallow trench isolation sti技術與製作流程2022 ...

隔离开来，隔离不好会造成漏电、击穿等电路缺陷。随着器件向深亚微米发展，浅沟槽隔离技术（STI，Shallow. Trench Isolation）能实现更安全、更强效的 ...

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