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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

在STI的刻蝕工藝過程中，要注意哪些工藝參數？ 答：①STI etch（刻蝕）的角度；. ②STI etch 的深度；. ③STI etch 後的CD尺寸大小 ...

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