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减小浅沟道隔离边缘凹坑的方法 - X技术

浅沟道隔离(Shallow Trench Isolation，简称STI)是0.25um以下半导体技术采用的通用隔离方法，这种隔离方法的优点是隔离效果好，而且占用面积小。但STI工艺也有很多的 ...

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