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半導體製程技術 - 聯合大學

半導體 製程技術 ... STI 形成. ▫ 介電質平坦化. ▫ PMD 和IMD. ▫ 鎢栓塞形成. ▫ 深溝槽電容器. ▫ 銅局部連線. ... 矽覆蓋絕緣技術(SOI)和淺溝槽絕緣技術STI.

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