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半导体CMP技术深度报告-面包板社区 - 电子工程专辑
STI 即浅沟槽隔离层,他的作用主要是用氧化层来隔开各个门电路,使各门电路之间互不导通。STICMP这就是将晶圆表面的氧化层磨平,最终正好使SIN暴露出来。
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