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Flow Control System

10SCCM − 2.4SLM. 反應時間. 在0.5 秒內、達設定值的±2% ... 氮氣與單位：SCCM、SLM）. 表1 Full-scale 流量範圍表 ... 10 SCCM-2.4SLM. F3L-F10L. 3 SLM-10 SLM.

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