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氮化矽介電常數

氮化矽是一種介電常數較高（約為7 左右）、硬度強、緻密的介電材料。 PDF 檔案. Dielectric CVD: 氧化矽及氮化矽氧化物(SiO2) 氮化物(Si3N4) 高介電強度> 1 ´107 V/cm ...

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