研究核心技術是進行閘極堆疊工程以及通道調變工程,導入低成本、高介電常數的氧化钛 ... (SiO/TiO/SiO2)、三氧化二氢/二氧化鈦/三氧化二銳(YO/TiO/Yy03)堆疊之電容密度 ...
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