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氨電漿處理對高介電常數氧化鋯薄膜電容器特性研究 - NCU ...

本論文主旨在研究以具有高介電常數的氧化鋯(ZrO2)薄膜，作為金氧半電容器(MOSC)之介電層，以取代傳統使用的二氧化矽(SiO2)，並藉由金氧半電容之電性及材料 ...

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