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知識貼:一文了解低介電常數材料(上篇) - 人人焦點

典型的無機低介電材料有無定形碳氮薄膜、多晶硼氮薄膜、氟矽玻璃等，主要包括二氧化矽(SiO2)、摻氟氧化矽(SiOF)、摻碳氧化矽(SiOC)、非晶碳(a-C和a-C:H)、 ...

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