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縱橫半導體檢測TOF-SIMS扮演要角- 電子技術設計 - EDN Taiwan
在這個案例中,Mo + 的成份分佈顯然有異常的殘留在大面積的範圍內。 圖4:TFT電極成份的TOF-SIMS離子影像圖。 SiON薄膜縱深分析. 氮氧化 ...
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