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表面与界面分析次级离子质谱分析（SIMS) - ppt download

4 历史 用SIMS作真正的表面分析要追溯到1969年，Münster大学Benninghoven教授使用了一个很特殊的方法。他有意地使用覆盖面大的低离子束流，将其用于研究超高真空条件下 ...

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