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飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）在深度剖析上的技术应用

二次离子质谱SIMS的基本原理是基于带有几千电子伏特能量的一次离子束轰击固体样品表面，经过物理相互作用而使样品表面产生二..._新浪网.

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