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二次離子質譜（SIMS）分析技術及應用 - 每日頭條

帶有TOF質譜分析器的TOF-SIMS因其超高的解析度、靈敏度並且可以同時檢測無機物和有機物而被各大半導體公司廠家用於檢測矽晶元件的元素定位和表面 ...

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