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二次离子质谱（SIMS）技术介绍

该平衡对应于溅射稳态，并且一旦达到，就可以使用相对灵敏度因子对参考标准样品进行可靠的定量。 动态SIMS的主要应用之一是痕量元素的深度分布分析（例如，半导体中的掺杂 ...

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