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TOF SIMS （飞行时间二次离子质谱仪）

与全反射X荧光分析仪（TXRF）相比，TOF-SIMS具有与其可比的灵敏度，且对轻元素的分析具有更高的灵敏度，其分析区域更小， ... 三维立体深度剖析半导体器件中的钼离子.

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