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半導體器件表面的二次離子質譜分析 - 中國熱點

二次離子質譜（SIMS） 是一種具有超高靈敏度和解析度的固體表面分析技術。它幾乎能夠分析任何真空下穩定的固體，可以從H到U的全元素及同位素進行分析 ...

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