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耦合二次离子质谱和原子探针层析成像技术，用于原子扩散和 ...

长期以来，二次离子质谱（SIMS）是唯一一种可以在深度分辨率为几纳米的样品中精确测量低于1 at％的杂质浓度的技术。例如，SIMS是微电子学中用于研究半导体中掺杂物分布 ...

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