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二次離子質譜技術在半導體材料中的檢測原理及案例應用

Sims 可以獲得材料表面單原子層的元素資訊，具有很高的元素檢出限（高達ppm甚至ppb）。在高真空條件下，具有一定能量幾百至幾萬EV的初級離子束轟擊待分析 ...

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