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红外半导体材料SIMS分析研究 - 欢迎访问《红外》杂志官方 ...

中文摘要:介绍了二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)的基本原理及其在焦平面红外半导体材料和器件制备工艺中发挥的重要作用。

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