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半导体器件表面的二次离子质谱分析 - 新浪看点

二次离子质谱（SIMS） 是一种具有超高灵敏度和分辨率的固体表面分析技术。它几乎能够分析任何真空下稳定的固体，可以从H到U的全元素及同位素进行 ...

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