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用于半导体或导体核材料中氧同位素的sims测量方法 - Google ...

本发明涉及一种用于半导体或导体核材料中氧同位素的SIMS测量方法，其过程为：步骤a,将样品进行处理并制作测量样品后，进行装样；清洗实验设备，设置测量参数，并对SIMS ...

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