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二次離子質譜技術在半導體材料中的檢測原理及案例應用- MP頭條

二次離子質譜是表面分析中應用最廣泛的技術之一。Sims可以獲得材料表面單原子層的元素信息，具有很高的元素檢出限（高達ppm甚至ppb）。

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