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電動車5G掀轉換元件革命化合物半導體成下世代半導體材料新星

至於在蝕刻製程方面，住程科技系統(SPTS)產品經理Richard Barnett (圖10) 表示，SiC晶圓可同時使用在功率元件及高功率射頻元件兩個領域，其所使用的蝕刻製程有些不同。

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