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sic製程
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SiC、GaN等新興化合物半導體將是電動車產業鏈的戰略物資
如何降低SiC基板成本及缺陷(defect)、2.如何改善SiC製程及可靠度、3.何為大面積高品質GaN磊晶技術的重點、4.如何強化GaN元件測試及可靠度分析、5.
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