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6.2 氣候變遷與溫室效應氣體減量

一般半導體製程所使用的全. 氟化物（Perfluorinated Compounds, PFCs）為四氟化碳. （CF4）、六氟乙烷（C2F6）、六氟化硫（SF6）、三氟化氮. （NF3）、三氟甲烷（CHF3）、 ...

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