EBIC 是一種非常有效的技術,用於在大面積(mm 2 ) 精度為50-100 nm 的設備,用於進一步的根本原因故障分析(FA),例如平面圖(PV)、橫截面(XS) SEM 或掃描透射電子顯微鏡(STEM) ...
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