※ 引述《Hrich (那年夏天的回憶錄)》之銘言：
: 最近翻閱了SEM的原理
: 裡面提到SEM試片要求必須是導體
: 否則應該在表面鍍上一層金

導體或鍍金是要讓電荷可以導掉,

除了讓雜訊減少外(電荷累積會造成雜訊), 亦可以避免sample燒掉變黑,

通常sample燒掉變黑就會產生氣體揮發, 而破壞儀器的真空度,

所以, 若你的sample不容易燒掉, 或是就算燒掉真空度提高, 貴公司也不太介意的話,

基本上sample會不會導電, 或是需不需要鍍金就不重要了....

: 又強調不可是液體或膠狀物質
: 我們公司有在使用CD-SEM
: 可是CD-SEM卻可用來觀察晶圓上的光阻影像
: 光阻是液體狀的，也不導電
: 卻不要求需是導體或鍍上一層金
: 這是為甚麼呢

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.46.156