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走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope：SEM) - 東レ ...

SEM は虫眼鏡(凸レンズ)で太陽の光を1点に集束するように、電子レンズを使って電子線を微小径に集束し、試料上に照射する。この入射電子ビームを試料上に走査させ、試料から ...

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