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FE-SEM/CL/EBSD 分析技術簡介 - 材料世界網

... 度的場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)之開發可更充份發揮這兩種分析技術的功能。在本文中，將針對CL 及EBSD 兩種分析技術的原理及主要應用作介紹。

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