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走査電子顕微鏡(SEM)の原理と応用 - 日本分析機器工業会

走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)は電子線を試料に当てて表面を観察する装置であり、X 線検出器を取り付けて元素分析を行うこともできる ...

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