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5 Thermal Processes

犧牲氧化層(Sacrificial Oxide). 阻擋氧化層. SiO. 2. Si. 通常薄氧化層(~150Å) 去預防因污染及過度應. 力引起的矽缺陷. 38. 力引起的矽缺陷 ...

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