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快速高溫回火及冷卻水系統(RTA) - 國立中山大學光電工程學系

名稱：快速高溫回火及冷卻水系統（退火爐）Rapid Thermal Annealing (RTA) 用途：快速高溫熱退火 廠牌與型號：ULVAC (RTA) 重要規格： (1)operating pressure: 2~3e-2 ...

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