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集成电路制造里的快速热处理（RTP）工艺 - 知乎专栏

RTA 主要分为如下4类：. 1）尖峰退火（ Spike Annealing )：其特点是注重快速升／降温过程，但基本没有保温过程。尖峰退火在高温点滞留时间很短，其 ...

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