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高温快速退火对重掺锑硅单晶中流动图形缺陷的影响! - 物理学报

利用高温快速退火工艺（RTA），将重掺锑硅片在. N2 ，Ar，H2 三种不同气氛下进行热处理，对退火前后FPDs 的密度变化进行了研究，分析了重掺锑硅单晶中FPDs 在.

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