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台北科技大學⁄ 研發總中心⁄ 先進製程實驗室快速熱退火系統操作 ...

快速熱退火系統操作說明. 95/11/10 修訂. 廠牌型號：ULVAC RTA. 購買日期：95/9/18. 操作說明：. 一、系統各部分說明. 1. 總電源開關. 2. 氣體通入開關(如氮氣).

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