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快速退火系統(Rapid Temperture Annealing, RTA)

1.廠牌型號: JANDEL RM3000 · 2.購置年限: 2021年 · 3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓 129實驗室(TEL：55616) · 4.功能:適用前端製程快速高溫退火 · 5.重要規格: (1). · 6.儀器 ...

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