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rf generator 原理 - Stud9

rf generator 原理. PDF 檔案. 於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場(E)，此電場加速電子並感應形成電漿電流(Jp)。由於此電磁感應機制與與變壓器原理相同，其中 ...

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