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實驗十濺鍍實驗講義

實驗原理：. 直流濺射鍍膜系統. 直流濺射鍍膜系統基本上是在高 ... 鍍膜結束後關閉RF power、主閥，打開真空腔取出鍍好之基板。 問題與討論：. 1. 鍍膜時為何要維持10.

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