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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

PECVD 製程原理, 電漿原理、CVD Clean endpoint 介紹、電漿中RF Vdc Vpp 代 ... 在Cathode 端輸入Power 建立電漿,晶圓擺放在Anode 端，若將蝕刻Etch 之.

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