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第二章文獻回顧2-1 磁控濺鍍技術

與射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputtering)兩種，所使用靶材的種類亦受到 ... 圖2-3 說明了濺鍍原理，鍍膜靶材(target)接陰極，基材(substrate)接陽.

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