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射頻濺鍍機之製程與設備初步技術實習

本專題製作旨在明瞭半導體製程設備中，射頻濺鍍機的原理、操作方式及 ... 的安裝，接下來是抽高真空，然後是設定加熱溫度，氬氣的流量和RF Power。

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