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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

PECVD 製程原理, 電漿原理、CVD Clean endpoint 介紹、電漿中RF Vdc Vpp 代. 表意義及Vdc 可應用在預知Wafer Arcing 發生的方法，Wafer Arcing 簡介。

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